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電子廠房(Electronic factory building)
發布時間:2019-03-30 14:45
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簡介:
電子行業,特別迅速發展的亞微米工藝對生產場所空氣潔凈度要求特別高,在對潔凈度的提出更高要求方面,電子工業是促進前進動力。集成電路光刻工藝的尺寸是推動潔凈室要求向前發展的決定因素,技術越進步,尺寸就越小,如果落在集成電路上的粒子大于小尺寸的1%……
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