簡介：電子行業，特別迅速發展的亞微米工藝對生產場所空氣潔凈度要求特別高，在對潔凈度的提出更高要求方面，電子工業是促進前進動力。集成電路光刻工藝的尺寸是推動潔凈室要求向前發展的決定因素，技術越進步，尺寸就越小，如果落在集成電路上的粒子大于小尺寸的1%……